提高大理石平板的具体对策和检测技术

一、提高机械加工的具体对策
1、减少原始误差。基于原始误差对机械加工精度的影响，我们应该从源头入手，大理石平板提高机床的几何精度、夹具精度、大理石平板基座以及量具的精度等，以此降低加工工艺因为受到各种因素的影响而出现误差。比如在进行车削细长轴加工时，可以采取中心架、弹簧的方式降低或者因为变形而产生的误差，总之对于不同的原始误差我们应该采取不同的加工工艺手段地解决。
2、采取合理的方式分化与均化误差。在机械加工过程中不可避免的会出现各种误差，而一旦出现误差，我们要认真分析误差的产生，并且确定误差的合理范围值。通过其它补救办法误差所产生的影响。这种补救办法分为分化法和均化法。分化法就是根据导致误差产生的规律，并对误差的氛围进行准确的定位，然后通过改良下一道工序或者技术实现从机械产品的整体上缩小这种误差；均化法就是将产生的误差通过各种加工方式，将这种误差进行平均化，并且围绕误差进行机械产品的整体参数改变，实现机械产品整体的应用性。
3、对误差进行补偿。当无法采取通过其它手段降低原始误差时，我们可以采取补偿法对机械加工误差进行补偿，补偿法属于人为改变方式，是通过对工艺系统中固有的原始误差进行补偿，降低加工误差对机械产品的影响，从而提高机械加工的精度。
4、加强对机械加工的研究。基于当前机械加工不高的现状，分析其原因主要还是与我国的机械加工技术水平不高有的关系，因此我们在充分研究影响机械加工因素的基础上，加大对提高机械加工科技技术水平的研究力度：先要提高机械加工研究人员的技能水平，不断提高我国机械加工内人才的培养；其次要不断地创新新的加工工艺、手段以及方法，现代机械加工精度的提高；较后要加强与高等院校的合作，通过开展合作积极为我国的机械加工技术发展提供的理论支持，并且要缩短理论体系转化为市场产品的周期。
综上所述，在机械加工过程中，出现的误差是允许发生的，但是随着现代技术的不断发展，机械加工的要求越来越高，提高机械加工精度，避免出现加工误差是发展新型工业的必然要求，因此我们要重视影响机械加工精度的因素，采取的措施提高机械加工的精度。
二、位置检测技术
位置检测是超加工的手段，误差补偿是提高加工精度的措施。超位移检测是整个工作台定位精度的决定因素。按照位移的特征，可分为线位移和角位移。线位移是指机构沿着某一条直线移动的距离，角位移指机构沿着某固定点转动的角度。
目前，大理石平台能够进行纳米计量的方法重要有：非光学和光学2大类。前者包括：电容测微法、电感测微法；后者包括X射线干涉法、各种形式的激光干涉法和光学光栅等方法。前者虽然能够达到纳米甚至亚纳米的测量分辨率，但其测量范围有限，而且需要激光干涉仪等光学方法对其进行标定和校准。后者的光学系统一般比较复杂，生产成本高，所以产品较少，价格昂贵。
目前的定位系统中，常用的可达到纳米级分辨率的传感器主要有：激光干涉仪、光栅尺和电容位移传感器。激光干涉仪基于光的干涉原理，光栅尺则基于光栅对光线干涉的原理，2者都是通过条纹明暗变化间接推导出位移的微细变化；电容传感器利用电容的物理特性，通过探测细微的电压变化来推导出电容板的相对位移。
从量程上来看，激光干涉仪和光栅尺可以进行大行程纳米级测量，而电容传感器只能在微米级的量程内才能保持纳米级的测量精度。从测量方式来看，激光干涉仪和电容传感器可以实现非接触式测量而光栅尺只能测量接触物的相对位移，并以其中某接触物为测量的直线基础。因此，前者可以测量位移变化的直线值，光栅尺的测量值则是相对直线位移值。但由于光栅尺属于接触式位移检测装置，在使用时一根光栅尺仅仅能测量一个导轨方向的位移，无法测量其他方向导轨由于直线度和垂直度引起的交叉误差，即无法补偿多维运动中的空间误差。因此如果在多维运动系统中采用这种反馈方式，要采用离线误差补偿技术提高系统精度，对系统误差进行建模，减小空间误差的影响。
从使用角度看，一台激光干涉仪系统可以同时测量多组数据，但是系统结构复杂庞大，安装使用条件也很苛刻，加上几十万甚百万的价格，一般只用于实验设备或者昂贵的位置反馈装置，很常用于对仪器的校验等测试调试场合。一个光栅尺只能测量一个方向的的直线运动，但安装简单，价格适中，是超加工机床常用位置反馈装置。电容传感器有不同形式配置，多通道的电容传感器配备多个电容探头，同时进行多路反馈，使用方便，价格便宜，常用于微动仪器的位置反馈。
综上所述，激光干涉仪的测量功能较强实用性较低；光栅尺适合测量一维大行程运动，配合空间误差补偿技术可以进行多维运动反馈，电容传感器适合测量小范围内的位移，实用性好。