大理石平板趋势和展望同位移机构

<一>、趋势和展望
和超加工技术的发展和推广，提高了整个机械制造业的加工精度和技术水平，并普遍提高了机械产品的质量、性能和竞争力，进入到纳米级和亚纳米级加工精度是必然的选择。根据我国当前的实际情况，参考的发展趋势，我国应该大力开展加工技术的研究，大理石平板其主要内容包括以下方面。
1)超加工机床技术，建立探索建立具有系统联动性强，响应，可用于多种微加工方法的、低速、多自由度的、具有纳米精度的三维极微细加工系统。为运动精度，采用运动装置的全闭环反馈。对误差进行进一步的修正，并根据运动特点提出相应误差识别的方案，提高运动定位精度。
2)超加工刀具及加工工艺、加工材料技术。
3)测量与控制及误差补偿技术；加工环境控制(包括恒温、隔热、洁净控制等)。
4)设备的精度(动特性和热稳定性)。
5)综合利用传统的加工手段，加以复合，即采用复合加工。
综合应用各种，在各方面精益求精的条件下，才有可能突破常规技术达不到的精度界限，达到新的指标。
<二>、超位移机构
超位移机构是定位系统进给元件，也是对工艺系统误差进行动态、静态补偿的关键机构。为了获得的位移分辨率，运动系统对驱动器及其相关部件均有很。超进给机构一般是利用机械传动(侗服电机+滚珠丝杠)、直线电机、电磁力(音圈电机)和智能材料(压电陶瓷、电致伸缩、磁致伸缩)等实现超进给。
音圈直线电机特别适合用于短行程的闭环伺服应用。由于它体积小，特别适合用在一些狭小的空间。另外它响应，本身重量小，因而可以达到很高的加速度。控制简单，无需换向装置，免维护。大理石平台可以进行的推力控制。精度可达1~5μm，加速度达20倍重力加速度。
棒型直线超声电机是一种能沿直线方向输出速度和推力的驻波超声电机。它具有输出推力大，位置分辨率高，响应和宁静驱动的特点，在输送驱动、定位控制、机器人等具有广阔的应用前景。
棒型直线超声电机工作时，其驱动振子在压电陶瓷(PZT)的激励下作同频率的纵向盯申缩振动和横向(弯曲)振动，从而在驱动振子输出端表面的质点上合成椭圆运动。为了能够用同一激励频率激励出纵向和弯曲这两个纯模态的振动，要求振子的这2个模态频率尽量接近。这是驱动振子的结构设计中解决的频率简并问题。驱动振子与导轨周期性的接触过程中，摩擦力的作用将使驱动振子产生相对导轨的直线运动。
在相同的激励电压下，为了在驱动振子输出端获得尽可能大的位移输出，尽可能地扩大纵向振动和横向振动的振幅。这就要求我们合理地设置激励纵向振动和横向振动的压电陶瓷的安放位置。